窒化ガリウムスパッタリングターゲットの開発とデバイス応用の展望

カテゴリ: 全国大会

論文No: S10-2

グループ名: 【全国大会】令和7年電気学会全国大会論文集

発行日: 2025/03/01

著者名: 上岡義弘（東ソー）,召田雅実（東ソー）

本誌掲載ページ: 2-2 p

PDFファイルサイズ: 422 Kバイト