空気圧シリンダの摩擦特性を考慮した空圧ステージの非線形位置制御

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT22058

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2022/03/16

タイトル(英語): Nonlinear position control of pneumatic stage considering friction characteristics of pneumatic cylinder

著者名: 青木 祥太朗(東京農工大学),鄧 明聡(東京農工大学)

著者名(英語): Shotaro Aoki(Tokyo University of Agriculture and Technology),Mingcong Deng(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: 空気圧駆動ステージ|摩擦|右既約分解|オペレータ理論|非線形制御|半導体製造|pneumatically driven stage|Friction|Right coprime factorization|Operator theory|Nonlinear control|Semiconductor manufacturing

要約(日本語): 近年，半導体製造時に空気圧駆動ステージが期待されている．空気圧シリンダとピストンの断面との間には摩擦が生じる．摩擦の非線形特性を考慮する必要があるが，摩擦を考慮したモデルは提案されていない．そこで本研究では，空気圧シリンダの摩擦特性を考慮して，空圧ステージのモデルを設計する．そして，オペレータ理論に基づく安定性保証を組み合わせた非線形制御系を提案し，シミュレーションにより制御系の有効性を確認した．

要約(英語): In recent years, pneumatically driven stages are expected to be used in semiconductor manufacturing. There is friction between the pneumatic cylinder and the cross-section of the piston. Although the nonlinear characteristics of friction are essential in model design, no previous study has considered friction. In this paper, the frictional characteristics of pneumatic cylinders is considered, and a new model of the pneumatic stage is new designed. Thus, a nonlinear control system that combines stability assurance based on operator theory is proposed and the effectiveness of the proposed control system is verified by simulation.

本誌: 2022年3月19日制御研究会

本誌掲載ページ: 27-32 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,059 Kバイト