スライディングモード制御を併用した空圧ステージにおける非線形制御系設計

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: CT23088

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 制御研究会

発行日: 2023/09/08

タイトル(英語): Nonlinear control of pneumatic stage by considering sliding mode control

著者名: 七夕 裕作(東京農工大学),鄧 明聡(東京農工大学)

著者名(英語): Yusaku Tanabata(Tokyo University of Agriculture and Technology),Mingcong Deng(Tokyo University of Agriculture and Technology)

キーワード: オペレータ理論|右既約分解|非線形制御|位置制御|ステージ|スライディングモード制御|Operator theory|Right coprime factorization|Nonlinear control|Position control|Stage|Sliding mode control

要約(日本語): 近年電子部品需要増加に伴い半導体集積回路((Integrated circuit: 以下， IC と記載)の需要が高まっている．IC製造時電磁アクチュエーターが駆動源の位置ステージが用いられる．しかし，発生した磁気や抵抗熱がICに悪影響を及ぼす可能性がある．本研究では非磁性である空気に着目し，空気圧駆動ステージの位置制御にスライディングモード制御を併用した非線形制御系設計法を提案し、シミュレーションで有効性を確認した。

要約(英語): In recent years, the demand for semiconductor integrated circuits (hereafter referred to as ICs) has increased due to the growing demand for electronic components. Position stages driven by electromagnetic actuators are used in the manufacture of ICs. However, the generated magnetism and resistive heat can have a negative effect on ICs. This study focuses on air, which is non-magnetic, and simulates nonlinear position control of a pneumatically driven stage by combining a sliding mode control.

本誌: 2023年9月11日制御研究会

本誌掲載ページ: 23-28 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 903 Kバイト