フッ素レーザーによる非晶質炭素ナノ膜の光化学的透明化

カテゴリ: 研究会(論文単位)

論文No: EFM25001

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門 電子材料研究会

発行日: 2025/03/02

タイトル(英語): Photochemical transparency of amorphous carbon nanofilms by fluorine laser

著者名: 大越 昌幸(防衛大学校),奥園 聡史(防衛大学校)

著者名(英語): Masayuki Okoshi(National Defense Academy),Satoshi Okuzono(National Defense Academy)

キーワード: 非晶質炭素|透明化|ｓｐ２炭素|励起一重項酸素原子Ｏ（１Ｄ）|Ｆ２レーザー|ＡｒＦエキシマレーザー|Amorphous carbon|Transparency|sp2 carbon|Excited singlet oxygen atom O(1D)|F2 laser|ArF excimer laser

要約(日本語): 本論文では、波長157nmのF2レーザーを用いて非晶質炭素ナノ膜の表面を光励起し、同時に大気中の酸素分子を励起一重項酸素原子O(1D)に光分解した。そして、O(1D)原子が三重項酸素原子O(3P)よりも膜中のsp2炭素を光化学的にエッチングできることを見出した。その結果、非晶質炭素ナノ膜は光化学的に透明に改質されることが実証された。

要約(英語): In this paper, we used an F2 laser with a wavelength of 157 nm to photoexcite the surface of an amorphous carbon nanofilm, and simultaneously photodecompose atmospheric oxygen molecules O2 into excited singlet oxygen atoms O(1D). The results showed that O(1D) atoms can photochemically etch sp2 carbon in nanofilms significantly better than triplet oxygen atoms O(3P). Thus, we found that the surface layer of the amorphous carbon nanofilm was photochemically modified to be transparent.

本誌: 2025年3月5日電子材料研究会

本誌掲載ページ: 1-2 p

原稿種別: 日本語

PDFファイルサイズ: 1,014 Kバイト