2026年6月29日-2026年6月30日マイクロマシン・センサシステム研究会

カテゴリ：研究会(冊子単位)

グループ名：【E】センサ・マイクロマシン部門 マイクロマシン・センサシステム研究会

発行日：2026/6/26

タイトル(英語)：29.Jun.2026-30.Jun.2026 Technical Meeting on Micromachine and Sensor System

キーワード：研究会テーマ:マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般

要約(日本語)：交換可能な表面保護構造を有するレーザー炭化ポリイミド力センサの作製とロボット指把持特性評価:宮田 唯統(東北工業大学),大川 優(東北工業大学),室山 真徳(東北工業大学) 弱親水性SiO₂–SiO₂直接接合における接合強度制御と転写プロセスへの応用:沈 君瀟(東北大学),鈴木 裕輝夫(東北大学 ),田中 秀治(東北大学 ) ２層PZT薄膜アクチュエータを用いた1次元圧電マイクロミラー:谷口 樹(東北大学),Vergara Andrea(東北大学),田中 秀治(東北大学) 磁歪薄膜マイクロ構造を用いた振動励起素子:進藤 瑞生(東北大学大学院工学研究科機械機能創成専攻),小野 崇人(東北大学大学院工学研究科機械機能創成専攻) Force Rebalance制御とデカップリング構造をともなった2軸応力式共振加速度センサのシミュレーションによる動作検証:天野 成哉(名城大学),畑 良幸(名城大学) 耐水機能を持つ細径手術ロボット鉗子用光学式変位センサ:木村 珠都(鳥取大学),森實 修一(鳥取大学),酒井 慎一(鳥取大学医学部附属病院),武中 篤(鳥取大学),李 相錫(鳥取大学),松永 忠雄(鳥取大学) 電解エッチングによるチタン製マイクロピラ構造の作製技術の開発:Qin Yizhi(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学) リード型MEMS発電素子のフレーム位置の検討:保坂 隼成(兵庫県立大学),遠藤 七海(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学) ロール・ピッチジャイロスコープのための，面外ー面内変換機構を内蔵した2軸MEMS振動子:馬 一航(東北大学),田中 秀治(東北大学),塚本 貴城(東北大学) スピン流体積効果に対する強磁性体膜による磁気バイアス効果:大澤 立久(東北大学),小野 崇人(東北大学) エレクトレットZigzag帯電素子の静電トランスへの応用:田中 瑛季(静岡大学),安宅 学(東京大学),年吉 洋(東京大学),橋口 原(静岡大学) 土中水分量センサのための光ファイバを用いた広帯域パルス幅変調信号回路の開発:寺澤 春斗(静岡大学),横山 紘太(静岡大学),都木 克之(静岡大学),大多 哲史(静岡大学),二川 雅登(静岡大学) SU-8ピンを有するPDMSバルーンアレイ型触覚ディスプレイの形成および動的な変形挙動の評価:徐 嘉楽(鶴岡工業高等専門学校),山﨑 孝太朗(鶴岡工業高等専門学校),宍戸 道明(鶴岡工業高等専門学校),峯田 貴(山形大学) Compact micromirror actuated by pMUT array:シリポックン ナタポン(東北大学),ベルガラ アンドレア(東北大学),田中 秀治(東北大学)

PDFファイルサイズ：14,819Kバイト