誘導結合磁化プラズマ中の部分共鳴電子加熱に対する電子エネルギー分解観察

カテゴリ：部門大会

論文No：4-B-a2-2

グループ名：【A】令和７年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日：2025/8/27

タイトル(英語)：

著者名：米本 裕貴(北海道大学)，岡崎 凌大(北海道大学)，菅原 広剛(北海道大学)

著者名(英語)：

キーワード：誘導結合磁化プラズマ,部分共鳴,電子加熱,モンテカルロシミュレーション,対向発散磁界

要約(日本語)：誘導結合型プラズマの制御のために印加する対向発散磁界は、円筒プラズマ容器外部の上下同軸直流コイルに逆向き電流を通じて誘起し、部分共鳴により電子加熱が起こりやすい共鳴域を持つ。先行研究では対向発散磁界中の電子空間分布の解析を行い、磁気ミラー効果及び強磁界による低エネルギー電子の束縛が観察された。本研究ではどのようなエネルギー帯の電子が部分共鳴電子加熱の対象になるのかを調査するため、電子加熱の電子エネルギー別サンプリングを行った。その結果、共鳴域では他の領域に比べ低エネルギー電子が加熱される割合が高まったことから、部分共鳴の効果は低エネルギー電子に対してより顕著に現れることが示唆された。

PDFファイルサイズ：275Kバイト