窒素中電子群諸量交流電界応答のモンテカルロ解析

カテゴリ：部門大会

論文No：4-B-a2-4

グループ名：【A】令和７年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日：2025/8/27

タイトル(英語)：

著者名：大久保 祐馬(北海道大学)，岡崎 凌大(北海道大学)，菅原 広剛(北海道大学)

著者名(英語)：

キーワード：電子群,交流電界応答,モンテカルロシミュレーション,窒素,衝突過程

要約(日本語)：窒素プラズマ交流応答特性解析のため自由空間における13.56MHz交流電界下電子群挙動のモンテカルロ解析を行った。気圧、周波数、電界強度、磁界等への依存性を観察する計画の中、本解析ではまず非弾性衝突がある程度起こる比較的高電界の下で気圧を変化させ電子群諸量の周期応答を観察した。平均電子エネルギーは気圧増加に伴う衝突増の影響でピーク値と振幅は減少するが、平均電子エネルギーの増加は速く減少は遅いという非対称性が気圧によらず観察された。衝突周波数は衝突過程により気圧依存の変化傾向が異なり、電子エネルギー分布範囲と衝突過程の閾値や高感度域の関係から、立ち上がりの急峻さ、ピークの数など衝突過程毎に特徴的な波形を示した。

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