微小薄膜磁気インピーダンス素子の作製及び特性制御

カテゴリ：部門大会

論文No：4-C-a2-1

グループ名：【A】令和７年電気学会基礎・材料・共通部門大会

発行日：2025/8/27

タイトル(英語)：

著者名：王 子越(岩手大学)，相原 竜生(岩手大学)，菊池 弘昭(岩手大学)

著者名(英語)：

キーワード：微細加工,磁気インピーダンス,ジュール加熱

要約(日本語)：磁気センサは、磁界や応力などの変化を検出し、電気信号として出力するデバイスで、微弱な磁場検出が可能で過酷な環境下でも動作するため、IoTの普及と相まって交通、医療、非破壊検査での活用が期待されている。その際、小型、高感度化が重要で、薄膜で構成できる磁気インピーダンス素子は有用と考える。そこで、本研究では小型化を目的として、素子幅, 厚さのアスペクト比が1に近づき, 素子長も100mm以下となる素子の作製を行うとともに、素子基本特性の評価やその特性制御について検討した。

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