レーザパターニングした絶縁層を有するエレクトレットAEセンサの製作と特性評価

カテゴリ：部門大会

論文No：10P4-PS-29

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Fabrication and Characterization of an Electret AE Sensor with Laser-Patterned Insulating Layer

著者名：*三橋 裕太朗（埼玉大学）, 蔭山 健介（埼玉大学）

著者名(英語)：

キーワード：エレクトレット,植物のアコースティック・エミッション,レーザアブレーション,PTFE,レーザパターニング,electret,acoustic emission of living plants,laser ablation,PTFE,laser patterning

要約(日本語)：本研究では,エレクトレット・コンデンサ・センサ(ECS)の絶縁電極において,CO2レーザでパターニングした絶縁層の形状及び絶縁層に対する圧縮処理がECSの受信感度に及ぼす影響について調べた。絶縁層に13MPaの圧縮処理を施し、うね高さを8.3μmにすることで受信感度が大幅に向上した。さらに,溝幅を増加させると受信感度は単調に低下したが,溝部のPTFE層を薄くすると感度が増加する傾向が見られた。

要約(英語)：This study investigated the effects of the shape of the insulating layer patterned with a CO? laser and the compression treatment applied to that insulating layer on the receiving sensitivity of the ECS. Compress the insulating layer at 13MPa and setting the ridge height to 8.3μm increased the reception sensitivity. Furthermore, increasing the groove width monotonically decreased the reception sensitivity, while a thinner PTFE layer in the groove tended to increase sensitivity.

PDFファイルサイズ：863Kバイト