直角プリズムを介したレーザ誘起背面湿式エッチングによる微小二軸ガラスフォースプレートの製作

カテゴリ：部門大会

論文No：10P4-PS-61

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Fabrication of bi-axial micro glass force plate using laser-induced backside wet etching through a right angle prism

著者名：*大野 望（慶應義塾大学）, 中島 利八郎（慶應義塾大学）, 白鳥 俊宏（慶應義塾大学）, 高橋 英俊（慶應義塾大学）

著者名(英語)：

キーワード：フォースプレート,レーザ誘起背面湿式エッチング,変位センサ,レーザ加工,0,Force plate,Laser-induced backside wet etching,Displacement sensors,Laser processing,0

要約(日本語)：本研究では，周波数特性を改善した微小二軸フォースプレートを提案する．二軸ばね構造と二台のレーザ変位計により鉛直・せん断方向の力を同時計測可能とした．V字溝構造を導入して中心プレートを軽量化し，周波数特性の向上を確認した．溝構造はレーザ誘起背面湿式傾斜エッチング法により形成し，UVレーザで二軸ばね構造を作製した．評価実験により，二軸方向で高感度かつ安定した計測が可能であることが示された．

要約(英語)：This study proposes a bi-axial force plate with improved frequency characteristics. A v-shaped groove structure was introduced in the center plate and fabricated by laser-induced backside wet etching. The force plate, produced entirely by laser processing, demonstrated high-sensitivity measurements in both vertical and shear directions through evaluation experiments.

PDFファイルサイズ：1,709Kバイト