ネオジムマイクロ磁石の室温転写成膜技術に関する研究

カテゴリ：部門大会

論文No：10P4-PS-65

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Preparation of Neodymium micromagnets via LIFT technique with room temperature

著者名：*田原 楽飛（長崎大学）, 轟木 捷斗（長崎大学）, 山下 昂洋（長崎大学）, 柳井 武志（長崎大学）, 中野 正基（長崎大学）

著者名(英語)：

キーワード：LIFT法,Nd-Fe-B系マイクロ磁石,膜厚,レーザパワー,保磁力,laser induced forward transfer technique,Nd-Fe-B micromagnets,film thickness,laser power,coercivity

要約(日本語)：最近我々は，レーザを透過するガラス基板上にPLD法で作製したマイクロ磁石を準備（ドナー）し，ガラス基板側よりレーザを照射することで，レシーバとなる基板に室温で転写成膜させる方法に成功した。この手法は，LIFT(Laser Induced Forward Transfer)法と呼ばれ，現状200 kA/m 程度の保磁力を発現したことが報告されている。本研究では，レーザパワーなど転写条件の制御により，保磁力が最大で500 kA/mに達するネオジムマイクロ磁石を作製したので報告する。

要約(英語)：Recently, we have succeeded in fabricating micromagnets at room temperature using a technique called the LIFT technique. This study reports that by controlling laser transfer conditions such as laser power, we achieved a maximum coercivity of the micromagnet exceeding the previously reported maximum value by approximately 200 kA/m.

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