平行平板静電アクチュエータにおけるばね特性の影響の数理解析

カテゴリ：部門大会

論文No：11A3-PS-14

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Mathematical analysis of the influence of spring characteristics on parallel plate electrostatic actuators

著者名：*市田 優（関西学院大学）, 山根 大輔（立命館大学）

著者名(英語)：

キーワード：微小電気機械システム,平行平板静電アクチュエータ,プルイン現象,タッチダウン現象,無限遠解析,MEMS,parallel plate electrostatic actuators,pull-in,touchdown,dynamics at infinity

要約(日本語)：本講演では,平行平板静電アクチュエータに着目する.ばね特性を考慮することにより,プルイン,1/3ルール,タッチダウン挙動がどのように変化するか,数理解析により普遍的な説明を与えることが本発表の目的である.Duffing型非線形性を有する数理モデルを運動方程式に基づいて構築し,得られた常微分方程式を解析した結果を報告する.そして,デモ機による実験を組み合わせることで妥当性を検証する方向性を示したい.

要約(英語)：In this talk, we focus on parallel plate electrostatic actuators. The objective is to explain how touchdown and pull-in behavior change based on spring characteristics using universal analysis and mathematical formulas. We construct and analysis the model with Duffing-type nonlinearity, which is represented by ordinary differential equation. Finally, we use a demonstration machine to verify universal conclusions by mathematical analysis.

PDFファイルサイズ：397Kバイト