Force Rebalance制御をともなった応力式共振加速度センサの原理実証

カテゴリ：部門大会

論文No：11A3-PS-38

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Principle Demonstration of Stress-Type Resonant Accelerometer with Force-Rebalance Control

著者名：千葉 将矢（名城大学）, *天野 成哉（名城大学）, 野呂 拓未（名城大学）, 川野 遥暉（名城大学）, 畑 良幸（名城大学）

著者名(英語)：

キーワード：共振加速度センサ,応力,Force rebalance,アラン偏差,ホワイトノイズ,Resonant accelerometer,Stress,Force rebalance,Allan deviation,White noise

要約(日本語)：共振加速度センサとFR(Force Rebalance)制御を融合した新規加速度センサの研究を行っている。本研究では実機によってFR制御をともなった応力式共振加速度センサの動作を原理実証した。加速度印加に対して励振系の共振周波数が一定に保たれながら,センサ出力であるFR制御電圧が感度5.5 V/gで変化した。アラン偏差から求めたホワイトノイズのパワースペクトル密度は3.4 mg/√Hzとなった。

要約(英語)：In this study, working principle of a new accelerometer that combines a stress-type resonant accelerometer with force-rebalance control was experimentally demonstrated. The experimental results showed that the control voltage as sensor output changes with sensitivity of 5.5 V/g for applied acceleration. The power spectral density of white noise obtained from Allan deviation was 3.4 mg/√Hz.

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