光ファイバとSi基板光導波型SPR屈折率センサの接続と基礎特性の評価

カテゴリ：部門大会

論文No：11A3-PS-56

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Connection of optical fiber and silicon-based optical guided-wave SPR refractive index sensor and Evaluation of basic characteristics

著者名：*青柳 和志（東京工業高等専門学校）, GIRI PUTU ADITYA MAHENDRA（東京工業高等専門学校）, 新國 広幸（東京工業高等専門学校）, 伊藤 浩（東京工業高等専門学校）

著者名(英語)：

キーワード：屈折率センサ,光導波型,表面プラズモン共鳴,Si 基板,光ファイバ,Refractive index sensor,Optical guided-wave,Surface plasmon resonance,Si,Optical fiber

要約(日本語)：Si基板光導波型SPR屈折率センサを作製し、出力光強度と感度を評価する。光ファイバ固定用のV字溝をSi基板上に作製し、バッファ層・導波層を各々SiO2膜・BK7ガラス膜として成膜する。Ag膜(金属膜)を積層し、V字溝に光ファイバを接続した。光の導波に成功したが、出力光強度が小さく感度の評価を実施できていない。要因はセンサ各要素間の結合損失であり、発表会までに損失を低減させ、感度の評価まで行う。

要約(英語)：We developed a silicon-based optical guided-wave SPR refractive index sensor with V-grooves for fiber alignment, SiO₂ buffer, BK7 waveguide, and Ag metal film. Although light guiding was achieved, output remained weak due to coupling loss. Reducing these losses is required to enable sensitivity evaluation before the presentation.

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