エアロゾルデポジション法で形成したBaTiO3アズデポ膜の厚膜化と 分極条件による発電エネルギー向上の検討

カテゴリ：部門大会

論文No：11P4-PS-29

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Effect of poling conditions and thickness on generation energy by Vibration using BaTiO₃ as-deposited thick films formed by Aerosol Deposition.

著者名：*川上 祥広（電磁材料研究所）

著者名(英語)：

キーワード：エアロゾルデポジション法,振動発電,BaTiO3 厚膜,分極処理,アズデポ膜,Aerosol deposition,energy haravester,BaTiO3 thick film,poling condition,As deposited film

要約(日本語)：エアロゾルデポジション(AD)法は、常温で緻密な厚膜を形成できることが最大の特徴の一つです。この特性を生かし、ステンレス鋼基板上に常温で成膜した圧電セラミックスのアズデポ厚膜を用いて、振動発電による発電エネルギーの向上を検討した。アズデポ膜であっても、分極処理時の電場を約1桁大きくするなど条件を最適化することで、熱処理膜よりも大きな発電エネルギーが得られることが確認された。

要約(英語)：We investigated the improvement of generated energy by mechanical vibration using as-deposited BaTiO3 thick films formed on stainless steel substrates. By applying the electric field during polarization by approximately one order of magnitude, we confirmed that as-deposited films were possible to obtain larger energy generation than with annealed films.

PDFファイルサイズ：944Kバイト