RIE加工した全フッ素化プラスチック光ファイバの断面観察手法の提案

カテゴリ：部門大会

論文No：11P4-PS-31

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Proposal of Cross-Sectional Observation Method for RIE-Processed Perfluorinated Plastic Optical Fibers

著者名：*石田 啓人（立命館大学）, 中島 遼（立命館大学）, 中西 拓登（立命館大学）, Cheng-Yao Lo（国立清華大学）, 李 ひよん（芝浦工業大学）, 水野 洋輔（横浜国立大学）, 山根 大輔（立命館大学）

著者名(英語)：

キーワード：全フッ素化プラスチック光ファイバ,プラスチック光ファイバ,応力シミュレーション,応力シミュレーション,断面観察,Perfluorinated plastic optical fibers,Plastic optical fibers,Reactive Ion Etching,Stress Simulation,Cross-sectional observation

要約(日本語)：本研究では、微細加工したプラスチック光ファイバー(POF)の断面を観察する新たな手法を提案した。エポキシ樹脂を保護層として用いることで、切断および研磨工程における詳細な表面形状を保持できる。この正確な形状情報は、高精度なシミュレーションモデルの開発やPOFセンサーの性能解析に有用であることが実証された。

要約(英語)：This study proposes a new method for observing the cross-sections of micro-processed polymer optical fibers (POFs). By using an epoxy resin as a protection layer, we can preserve the detailed surface profiles during cutting and polishing. The research demonstrates that these accurate profiles are useful for developing high-precision simulation models and analyzing the performance of POF sensors.

PDFファイルサイズ：586Kバイト