においセンシングの高度化に向けた静電型ガスグリッドの電界方向がセンサ検出特性に与える効果の検証

カテゴリ：部門大会

論文No：11P4-PS-91

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Effect of Electric Field Orientation in an Electrostatic Gas Grid on Sensor Detection Characteristics for Advanced Odor Sensing

著者名：*代継 海斗（豊橋技術科学大学）, 權 益賢（豊橋技術科学大学）, 崔 容俊（豊橋技術科学大学）, 高橋 一浩（豊橋技術科学大学）, 澤田 和明（豊橋技術科学大学）, 野田 俊彦（豊橋技術科学大学）

著者名(英語)：

キーワード：においセンサ,ガスセンサ,ガスグリッド,ガスセンシング特性制御,電界制御,smell sensor,gas sensor,gas grid,control of gas sensing property,electric field control

要約(日本語)：本研究では、30種類の感応膜が成膜されたCMOSにおいセンサと静電型ガスグリッドを組み合わせ、電界方向が検出特性に与える影響を体系的に評価した。アンモニアガス曝露時は応答変化が限定的であったが、エタノールガス曝露時は多くの感応膜で電界方向に依存した顕著な変化が確認された。これにより、電界方向制御が擬似的な感応膜の種類の増加として機能し、におい識別精度の向上やガス成分同定への応用可能性を示した。

要約(英語)：This study combined a CMOS odor sensor with 30 sensing films and an electrostatic gas grid to systematically evaluate electric field orientation effects. While ammonia showed limited changes, ethanol exhibited significant orientation-dependent responses. The findings suggest electric field control enhances overall odor discrimination accuracy and enables potential gas component identification.

PDFファイルサイズ：497Kバイト