皮膚ファントムを用いた極薄ハプティックMEMSデバイスの基礎性能評価

カテゴリ：部門大会

論文No：12P2-PS-58

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Fundamental characteristics of ultra-thin haptic MEMS devices using skin phantom

著者名：*竹下 俊弘（産業技術総合研究所）, 古澤 亜樹（産業技術総合研究所）, Zymelka Daniel（産業技術総合研究所）, 小林 健（産業技術総合研究所）, 竹井 裕介（産業技術総合研究所）

著者名(英語)：

キーワード：MEMS,ハプティクス,振動素子,アクチュエータ,PZT,MEMS,Haptics,Vibrator,Actuator,PZT

要約(日本語)：本報告では極薄ハプティックMEMSフィルムの基礎特性評価を目的とし、皮膚ファントムを用いた評価実験系の構築及びアクチュエータとしての静特性評価を行ったので、その結果について報告する。

要約(英語)：In this paper, we present the results of a fundamental performance evaluation of the ultrathin tactile MEMS film, conducted using a skin-phantom to simulate human tissue.

PDFファイルサイズ：392Kバイト