機械的接続・電気的絶縁により櫛歯噛み合わせ精度向上したポリマー静電アクチュエータ

カテゴリ：部門大会

論文No：12P2-PS-76

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Polymer Electrostatic Microactuator with Well Aligned Comb Electrodes by Mechanical Connection and Electrical Disconnection

著者名：*山本 皓太（東京科学大学）, 石田 忠 （東京科学大学）

著者名(英語)：

キーワード：SU-8製カンチレバー,静電アクチュエータ,機械的接続,金属部分成膜,0,SU-8 cantilever,Electrostatic actuator,Mechanical connection,Partial metal coating,0

要約(日本語)：ハイドロゲル機械試験のため，櫛歯型静電アクチュエータ付きSU-8製カンチレバーを開発している。先行研究において，電気的絶縁のためにカンチレバーと電極を機械的に分離したところ，櫛歯噛み合わせに32.9 µmのずれが生じた。そこで，それらを構造的に接続し，金属を部分成膜して電気的に絶縁した。これにより噛み合わせのずれは14.2 µmに抑えられた。電位差200 Vで駆動すると4.7 µmの変位を得た。

要約(英語)：SU-8 cantilevers with comb-drive actuators are developing for hydrogel mechanical testing. In previous research, mechanical separation for insulation caused a 32.9 µm misalignment, resolved by structural connection and partial metal coating for insulation. The misalignment was reduced to 14.2 µm. A displacement of 4.7 µm was achieved at 200 V.

PDFファイルサイズ：371Kバイト