MgHfAl-N薄膜の作製と新しい触覚センサの開発

カテゴリ：部門大会

論文No：12P2-PS-78

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Development of innovative MgHfAl-N film and new tactile sensor

著者名：Hung Hoang（東北大学）（仙台スマートマシーンズ）, 高山 洋祐（東北大学）（仙台スマートマシーンズ）, *桑野 博喜（東北大学）（仙台スマートマシーンズ）

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