レーザー加工を用いたワンプロセスによるLIG風速センサの開発

カテゴリ：部門大会

論文No：12P2-PS-90

グループ名：【E】第42回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

発行日：2025/11/3

タイトル(英語)：Development of a LIG airflow Sensor Using a Single-Process Laser Fabrication Method

著者名：*村上 健太（イコーフューチャークリエーション）, 中島 利八郎（慶應義塾大学）, 大矢 晋太郎（慶應義塾大学）, 安藤 竜生（慶應義塾大学）, 小原 慧（慶應義塾大学）, 海法 克享（イコーフューチャークリエーション）, 吉田 宜史（イコーフューチャークリエーション）, 高橋 英俊（慶應義塾大学）

著者名(英語)：

キーワード：風速センサ,レーザ誘起グラフェン,カンチレバー,レーザ,0,airflow sensor,laser induced graphene,cantilever,laser,0

要約(日本語)：本研究では、レーザを用いた平面シートからワンプロセスで立体的なカンチレバー型LIG風速センサを作製するプロセスを提案する。本技術はMEMS技術と比較して製造プロセスの簡略化およびコスト削減が期待される。 作製した風速センサは複数の風速条件下で評価を行った。その結果、風速が大きくなるに伴いLIGの電気抵抗値も増加する傾向が確認された。以上より提案した風速センサが実際に風速変化を検出可能なことが確認できた。

要約(英語)：This study proposes a process for fabricating three-dimensional cantilever-type LIG wind speed sensors from flat sheets using a single laser-based process. Compared to MEMS technology, this technique is expected to simplify the manufacturing process and reduce costs. The fabricated wind speed sensor was evaluated under multiple wind speed conditions. The results confirmed a tendency for the electrical resistance of the LIG to increase with increasing wind speed. Consequently, it was confirmed that the proposed wind speed sensor can effectively detect changes in wind speed.

PDFファイルサイズ：1,152Kバイト