メタルスパッタリングプラズマの高度化とその最新動向

カテゴリ: 技術報告

論文No: 1162

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2009/07/15

タイトル(英語): Advanced metal sputtering plasmas and their recent trends

著者名: メタルスパッタプラズマの高度化調査専門委員会編

著者名(英語): Investigating R&D Committee on advanced metal sputtering plasma

キーワード: スパッタリング、プラズマ、スパッタリング装置、スパッタリング応用／sputtering, plasma, sputtering device, sputtering application

要約(日本語): プラズマを用いたメタルスパッタは、従来からデバイスの作製等の幅広く用いられ、超ＬＳＩ半導体デバイス、液晶など薄型ディスプレイ、ハードディスクやＭＲＡＭ等に代表される磁性薄膜デバイスなど、その用途はますます広くなっている一方、メタルスパッタ技術は、電子デバイス以外にハードコーティングなどの表面処理の分野にも幅広く応用されている。しかし他の技術との競合の中で一長一短の状況で、多くの未解決な技術的課題が残されている。電気学会メタルスパッタプラズマの高度化調査専門委員会では、各種スパッタ応用分野の問題点を、メタルスパッタのプラズマ物理の観点から洗い出すとともに、それを打破する技術動向に的をおき、将来への展開を図るために必要となる新しい技術について調査した。そして本技術報告書では、そこでの調査結果をもとに、（１）レーザや質量分析およびシミュレーションを用いたスパッタリングプラズマの基礎と解析、（２）スパッタリング粒子の速度や方向を制御するために開発された様々な種類のスパッタリング装置、（３）電子および磁気用の各種デバイスや、従来の無機材料に加えて高分子フィルム上への機能性薄膜形成などに関するスパッタリング応用の３つに分類し、各々の最新動向をまとめている。

要約(英語): In recent years, a lot of engineering technology such as the imaging, visualization, and the optical application are used about the measurement and the diagnosis technology in the medical treatment. In the welfare field, the development of the new welfare instrument and the evaluation method are an important problem. The bioinstrumentation is electric, the optical characteristic and the physiological feature, the safety of the medical equipment and so on are an important investigation item. The investigating R&D committee on bioinstrumentation technology in the medical and welfare field investigated in the wide area to contribute for the bioinstrumentation technology to develop. This report is roughly divided into eleven chapters. Chapter 1 is an introduction. Chapter 2 and chapter 3 are the bioinstrumentation technology which used an image analysis. It is the bioinstrumentation technology which used an optical technology from chapter 4 to chapter 6. Chapter 7 and chapter 8 are a simulation technology for the bioinstrumentation. Chapter 9 is the application of the measurement technology to the welfare medical treatment. Chapter 10 is medical telemetry. Chapter 11 is a legislation degree in case of bioinstrumentation.

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