先端加工技術の開発動向

カテゴリ: 技術報告

論文No: 672

グループ名: 【D】産業応用部門

発行日: 1998/04/01

著者名: 先端加工技術開発動向調査専門委員会

要約(日本語): レーザ/電子/イオンビーム応用加工装置が生産ラインに導入されてから十数年以上になる。その間，より高精度高機能の要求に応え，技術，製品の開発が行われてきた。本報告書はこれら技術の開発動向につき調査した結果をまとめたもので，内容はレーザ光化学加工，レーザ熱加工，イオンビーム加工よりなる。　　レーザ光化学加工で，今後の進展が最も期待されるのはレーザアブレーション加工である。エキシマレーザによる電子回路基板のvia-hole加工の実用化などはその応用である。エキシマレーザステッパの製造ラインへの導入，励起固体レー

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