放電プラズマ化学における反応粒子とそのエネルギー

カテゴリ: 技術報告

論文No: 679

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 1998/05/26

著者名: 放電プラズマ化学における反応粒子とそのエネルギー調査専門委員会

要約(日本語): 近年，大気圧放電プラズマを利用した新技術の開発の一つとして，フロン，ハロゲン系ガスおよびNOxなどの環境汚染ガスを分解処理する試みがなされている。ガス処理および材料表面処理では，高励起エネルギーの活性度の大きな酸素原子，分子の生成が望まれる。放電によって生じた非平衡プラズマ中では，個々のエネルギーが高く，活性度の大きな電子，イオンあるいは各種のラジカルが豊富に生成され，通常，生じにくいと考えられる化学反応が促進されることも十分考えられる。しかしながら，正確な反応機構については不明な点が多く，近い将来におけ

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