マイクロ化学センサの技術動向

カテゴリ: 技術報告

論文No: 682

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 1998/06/10

著者名: マイクロ化学センサ調査専門委員会

要約(日本語): 本報告書は，マイクロ化や機能化をめざした化学センサの現状と将来技術を調査した結果をまとめたものである。化学センサは環境，医療，食品産業等広い範囲で重要性が増しているが，実用化されたものは少ない。このため実用的な技術の他，研究を活性化し，実用化にブレークスルーをもたらす可能性に着目し，調査結果が次世代につながることに主眼をおいて調査研究を行い，技術動向をまとめた。　　 調査範囲をバイオセンサ，イオンセンサ，ガスセンサ，マイクロデバイス，センサシステムの5分野に分け，各々の分野における材料やデバイス技術，アプ

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