電子材料工学

カテゴリ: 書籍

発行日: 1982/03/05

著者名: 青木 昌治（東京大学）、徳山 巍（日立製作所）

要約(日本語): 《目次》 状態図／精製と分析／結晶成長とその評価／不純物添加／絶縁膜の形成／エッチング／電子素子のプロセッシング／補遺
※この書籍は以前に冊子として販売していたものをオンデマンドで復刻したものです。