同軸線路型長尺マイクロ波放電ランプ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2011/05/01

タイトル(英語): Coaxcial Line Type Long Microwave Discharge Lamp

著者名: 八田　章光（高知工科大学 システム工学群電子・光系），左海　泰貴（高知工科大学 システム工学群電子・光系），川村　和正（高知工科大学 システム工学群電子・光系），呉　凖席（JSTイノベーションサテライト高知（高知工科大学内））

著者名(英語): Akimitsu Hatta (Kochi University of Technology), Taiki Sakai (Kochi University of Technology), Kazumasa Kawamura (Kochi University of Technology), Jun-Seok Oh (JST Innovation Satellite Kochi (Kochi University of Technology))

キーワード: 気体放電，マイクロ波放電，紫外光源，ランプ，同軸線路，プラズマ　　gas discharge，microwave discharge，UV light source，lamp，coaxial line，plasma

要約(英語): A microwave excited gas discharge lamp using a novel configuration of a coaxial line has been developed for application to VUV light source. The microwave propagated through the coaxial line consisted of the excited microwave plasma itself as the inner conductor and a metal tube as the outer conductor. The microwave power was launched directly from the antenna of the magnetron power source to the quartz discharge tube without using any impedance matching network. The length of the plasma was logarithmically increased with increasing the microwave power. A 2m-long uniform microwave plasma was obtained by using a couple of magnetron power sources on both the sides operated by alternating half-rectified sinusoidal wave high voltage source.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.131 No.5 （2011） 特集：光源・照明の新潮流

本誌掲載ページ: 344-350 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/131/5/131_5_344/_article/-char/ja/