高圧力オゾン発生器と濃縮による超高純度高濃度オゾン発生

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2015/10/01

タイトル(英語): Ultrahigh Density Pure Ozone Generation Using Silicagel Condensation

著者名: 太田　幸治（三菱電機（株）），稲永　康隆（三菱電機（株）），谷村　泰宏（三菱電機（株）），田畑　要一郎（東芝三菱電機産業システム（株）），葛本　昌樹（三菱電機（株））

著者名(英語): Koji Ota (Mitsubishi Electric Co.), Yasutaka Inanaga (Mitsubishi Electric Co.), Yasuhiro Tanimura (Mitsubishi Electric Co.), Yoichiro Tabata (Toshiba Mitsubishi-Electric Industrial Systems Co.), Masaki Kuzumoto (Mitsubishi Electric Co.)

キーワード: オゾン，濃縮，シリカゲル，誘電体バリア放電，低温　　Ozone，condensation，silicagel，dielectric barrier discharge，low temperature

要約(英語): The influence of the gas pressure on the dielectric barrier discharge with plate electrode was investigated for generating high density Ozone gas. It was impossible for discharge type Ozone gas generator to make ultrahigh density Ozone gas upto 26wt% because of Ozone decomposion by electron impacts. To make ultrahigh density Ozone gas, Ozone gas was condensated on the silicagel in the cooled adsorption column. It was possible to generate 80∼100wt% Ozone gas continuously switching two adsorption column.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.135 No.10 （2015） 特集：光エネルギー応用技術の最新動向

本誌掲載ページ: 598-604 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/135/10/135_598/_article/-char/ja/