光応用・視覚技術分野の動向と最前線

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2016/01/01

タイトル(英語): Recent Topics in Light Application and Visual Science

著者名: 篠田　之孝（日本大学理工学部電気工学科）

著者名(英語): Yukitaka Shinoda (College of Science and Technology, Nihon University)

キーワード: リソグラフィ，ムーアの法則，極端紫外，ナノアブレーション，アブレーション閾値，反応収量　　lithography，Moore's law，extreme ultra violet，nano-ablation，ablation threshold，photoreduction yield

要約(英語): Activities of the technical committee on light application and visual science (TC-LAV) have been covering various kinds of application of optical engineering in the wavelength region from far-infrared (THz-wave) to extreme ultraviolet and fields of information processing of visual sense.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.136 No.1 （2016） 特集：2016年基礎材料分野の研究開発の動向

本誌掲載ページ: 2023/04/06 p

原稿種別: 解説／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/136/1/136_4/_article/-char/ja/