高位置分解能型PEA装置の開発と空間電荷分布測定例

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2016/06/01

タイトル(英語): Development of PEA Measurement System with High Positional Resolution and Typical Measurement Results of Space Charge Distribution

著者名: 熊岡　賢祐（東京都市大学 計測電機制御研究室），三宅　弘晃（東京都市大学 計測電機制御研究室），田中　康寛（東京都市大学 計測電機制御研究室）

著者名(英語): Kensuke Kumaoka (Tokyo City University), Hiroaki Miyake (Tokyo City University), Yasuhiro Tanaka (Tokyo City University)

キーワード: 空間電荷，PEA法，位置分解能，薄膜絶縁フィルム　　space charge，PEA method，high positional resolution，thin insulating film

要約(英語): Space charge accumulation in insulating material under a high electric field is said that it is closely related to the breakdown of the insulating material. Since a thin insulating film is used as a flexible printed circuit board, such high stress might be generated in the film. Therefore, it is required to measure the space charge distributions accumulated in such thinner insulating layers to evaluate the characteristics them. We tried to improve the positional resolution of the PEA system to measure the space charge distributions in such thin insulating films. It is found that the improvement enables us to measure the space charge distribution with a positional resolution of about 2.5µm.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.136 No.6 （2016） 特集：広帯域電磁界の電子機器および通信に対する障害

本誌掲載ページ: 386-387 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/136/6/136_386/_article/-char/ja/