対向発散磁界下誘導結合型プラズマのシミュレーションにおける磁気閉じ込め効果評価のための電子脱出判定法について

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2017/06/01

タイトル(英語): On Judgement of Electron Escape for Evaluation of the Magnetic Confinement Effect in Simulations of Inductively Coupled Plasmas under Confronting Divergent Magnetic Fields

著者名: 山本　達平（北海道大学大学院情報科学研究科），菅原　広剛（北海道大学大学院情報科学研究科）

著者名(英語): Tappei Yamamoto (Graduate School of Information Science and Technology, Hokkaido University), Hirotake Sugawara (Graduate School of Information Science and Technology, Hokkaido University)

キーワード: プラズマシミュレーション，対向発散磁界，分界面，電子閉じ込め，電子脱出判定，旋回中心　　plasma simulation，confronting divergent magnetic fields，separatrix，electron confinement，electron escape judgement，gyration center

要約(英語): Confronting divergent magnetic fields (CDMFs) applied to an inductively coupled plasma have a function to confine electrons within the source region. We discussed judgement criteria for electron escape from the source region to the diffusion region across the separatrix of the CDMFs. Passage of electron gyration center across the separatrix and collisional events in the diffusion region were newly introduced as effective criteria.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.137 No.6 （2017） 特集：パルスパワーの産業応用

本誌掲載ページ: 363-364 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/137/6/137_363/_article/-char/ja/