バイアス通電によるミアンダコプレーナ薄膜磁界センサの開発

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2017/08/01

タイトル(英語): Meandering Coplanar Line Type Thin Film Magnetic Field Sensor with Direct Bias

著者名: 薮上　信（東北学院大学工学部），植竹　宏明（東北学院大学工学部），森谷　健太（東北学院大学工学部），冨並　剛（東北学院大学工学部），小野寺　英彦（東北学院大学工学部）

著者名(英語): Shin Yabukami (Department of Electoical Engineering and Information Technology, TohokuGakuin University), Heroaki Uetake (Department of Electoical Engineering and Information Technology, TohokuGakuin University), Kenta Moriya (Department of Electoical Engineering and Information Technology, TohokuGakuin University), Tsuyoshi Tominami (Department of Electoical Engineering and Information Technology, TohokuGakuin University), Hidehiko Onodera (Department of Electoical Engineering and Information Technology, TohokuGakuin University)

キーワード: バイアス，ミアンダコプレーナ線路　　bias，meandering coplanar line

要約(英語): We propose a new simple method to directly apply dc current to the CoNbZr/Cu film of a sensor. A very sensitive thin film sensor was developed using a meandering coplanar line with biasing conductors fabricated from SrTiO film (0.75 μm thick), amorphous Co85Nb12Zr3 film (1.0 mm × 2.45 mm, 1 μm thick) and Cu/Cr film (2 μm/0.1 μm). We discuss direct bias to CoNbZr film and Cu film under a CoNbZr film and compare it with an application of bias magnetic field. Good sensitivity (phase change over 100 degrees/Oe) was obtained by the proposed method.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.137 No.8 （2017） 特集：磁気センサの高機能化と応用技術の新展開

本誌掲載ページ: 460-465 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/137/8/137_460/_article/-char/ja/