垂直静電塗布法を用いた有機半導体薄膜の均質化

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2020/04/01

タイトル(英語): Homogenization of Organic Semiconductor Films Formed by Vertical Electro-spray Deposition

著者名: 山内　博（東京電機大学工学部），岡田　悠悟（千葉大学大学院工学研究科），田所　貴志（東京電機大学工学部），工藤　一浩（千葉大学大学院工学研究科）

著者名(英語): Hiroshi Yamauchi (Tokyo Denki University), Yugo Okada (Chiba University), Takashi Tadokoro (Tokyo Denki University), Kazuhiro Kudo (Chiba University)

キーワード: 有機電界効果トランジスタ (OFET)，TIPS-ペンタセン，垂直静電塗布　　organic field-effect transistor (OFET)，TIPS-Pentacene，vertical electrospray deposition

要約(英語): The electrospray deposition (ESD) method is simple solution process used solution spray formed by electric field between the solution and conductive substrate or insulated electrode. In this study, we fabricated thin films based on 6,13-bis (triisopropyl-silylethynyl) pentacene formed by ESD method. An electric field applied between the nozzle and selected patterned electrodes on the substrate. Moreover, a new droplet size selected vertical ESD method has been proposed. This vertical ESD method allows selecting droplet size by weight itself using this system with horizontal injection on a vertical substrate. We fabricated OFET using this method and measured static electrical characteristics. These results demonstrate that the solution on the selected droplet size by the position of substrate set on vertical.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.140 No.4 （2020） 特集：2019年基礎・材料・共通部門大会

本誌掲載ページ: 179-185 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/140/4/140_179/_article/-char/ja/