紫外フェムト秒レーザ照射されたシリコン太陽電池の表面粗さと結晶構造

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2020/08/01

タイトル(英語): Surface Roughness and Crystallinity of Silicon Solar Cells Irradiated by Ultraviolet Femtosecond Laser Pulses

著者名: 児子　史崇（大阪産業大学大学院工学研究科電子情報通信工学専攻），橋田　昌樹（京都大学化学研究所），塚本　雅裕（大阪大学接合科学研究所），阪部　周二（京都大学化学研究所），草場　光博（大阪産業大学大学院工学研究科電子情報通信工学専攻）

著者名(英語): Fumitaka Nigo (Graduate School of Engineering, Osaka Sangyo University), Masaki Hashida (ICR, Kyoto University), Masahiro Tsukamoto (JWRI, Osaka University), Shuji Sakabe (ICR, Kyoto University), Mitsuhiro Kusaba (Graduate School of Engineering, Osaka Sangyo University)

キーワード: 紫外フェムト秒レーザ，ナノ微細構造，ナノ周期構造，シリコン，シリコン太陽電池　　ultraviolet femtosecond laser，nano-structures，LIPSS，silicon，silicon solar cell

要約(英語): Nano/microfabrication experiments on the surface of silicon solar cell are performed by ultraviolet femtosecond laser in the fluence range from 0.10-0.70 J/cm2. The surface morphology change of sample was observed by a laser scanning microscopy and a scanning electron microscope. The crystallinity of surface irradiated by laser pulses was evaluated by Raman spectroscopy. The ablation threshold for silicon was estimated to be 0.10 J/cm2. We successfully produced nano-structures on the surface of silicon solar cell maintaining single-crystalline with the irradiation at the laser fluence of 0.10 J/cm2.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.140 No.8 （2020） 特集：未来社会に向けた先端光応用・視覚技術

本誌掲載ページ: 401-406 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/140/8/140_401/_article/-char/ja/