高感度トンネル磁気抵抗センサ開発の進展

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【A】基礎・材料・共通部門

発行日: 2024/08/01

タイトル(英語): Progress on Development of Highly Sensitive Tunnel Magneto-resistive Sensor

著者名: 大兼　幹彦（東北大学大学院工学研究科／東北大学先端スピントロニクス研究開発センター），中野　貴文（東北大学大学院工学研究科），藤原　耕輔（スピンセンシングファクトリー（株））

著者名(英語): Mikihiko Oogane (Graduate School of Engineering, Tohoku University/CSIS, Tohoku University), Takafumi Nakano (Graduate School of Engineering, Tohoku University), Kosuke Fujiwara (Spin Sensing Factory Corp.)

キーワード: トンネル磁気抵抗効果，磁気センサ，生体磁場，1/fノイズ　　tunnel magneto-resistance effect，magnetic sensor，bio-magnetic field，1/f noise

要約(英語): We have developed a highly sensitive tunnel magneto-resistive (TMR) sensor. A sensitivity has been dramatically improved by development of soft-magnetic materials and optimization of structure of TMR devices. In addition, 1/f noise was also decreased by improvement of integration techniques and reduction in defects of tunneling barrier layer. Because of dramatic improvement of the sensitivity and 1/f noise, we have successfully achieved the magnetic field resolution of 0.4 pT/Hz0.5 at 1 Hz. We have also demonstrated bio-magnetic field measurement at RT using the improved TMR sensors.

本誌: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） Vol.144 No.8 （2024） 特集：磁気センサと機械学習の活用技術の新展開

本誌掲載ページ: 306-311 p

原稿種別: 解説論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/144/8/144_306/_article/-char/ja/