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合金ターゲットを用いた極端紫外域におけるレーザ生成プラズマからの発光強度の増加

合金ターゲットを用いた極端紫外域におけるレーザ生成プラズマからの発光強度の増加

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カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門

発行日: 2012/08/01

タイトル(英語): Enhancement of Extreme Ultraviolet Emission Intensity from a Laser-produced Plasma Using an Alloy Target

著者名: 加来 昌典(宮崎大学 工学部),松浦 悠太(宮崎大学 工学部),窪寺 昌一(宮崎大学 工学部)

著者名(英語): Masanori Kaku (University of Miyazaki), Yuta Matsuura (University of Miyazaki), Shoichi Kubodera (University of Miyazaki)

キーワード: 極端紫外光,真空紫外光,レーザ生成プラズマ  Extreme ultraviolet (EUV),Vacuum ultraviolet (VUV),Laser-produced plasma (LPP)

要約(英語): We observed that the emission intensity in extreme and vacuum ultraviolet spectral regions using a laser-produced copper tungsten alloy plasma was 1.3 times higher than that using a pure tungsten plasma. The enhancement of the emission intensity was explained by the difference of the Rosseland mean opacity of each plasma.

本誌: 電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌) Vol.132 No.8 (2012) 特集:光・量子ビームによるナノダイナミクス

本誌掲載ページ: 1283-1286 p

原稿種別: 論文/日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/132/8/132_1283/_article/-char/ja/

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