可変短絡板付き円筒空洞共振器法による薄形フィルムのミリ波複素誘電率測定

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門

発行日: 2020/04/01

タイトル(英語): Measurement of Complex Permittivity of a Dielectric Thin Film by the Cylindrical Cavity Resonator Having Sliding End Plates

著者名: 古神　義則（宇都宮大学大学院工学研究科），五十嵐　一文（宇都宮大学大学院工学研究科），清水　隆志（宇都宮大学大学院工学研究科）

著者名(英語): Yoshinori Kogami (Utsunomiya University), Kazufumi Igarashi (Utsunomiya University), Takashi Shimizu (Utsunomiya University)

キーワード: 誘電体薄形フィルム，ミリ波，複素誘電率測定，円筒空洞共振器法　　dielectric thin films，millimeter wave，complex permittivity measurements，cylindrical cavity resonator method

要約(英語): This technical report shows a measurement technique for the complex permittivity of a dielectric thin film with the cylindrical resonator having sliding end plates in the millimeter wave region. In order to eliminate the influence of unwanted TM111 resonance mode which is frequently appeared on the response of TE011 for measurement of the dielectric thin film, the position of the end plates is adjusted adequately. The methodology and experimental results are presented to show the usefulness of this technique.

本誌: 電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.140 No.4 （2020） 特集：ナノ構造の医療・バイオ応用技術

本誌掲載ページ: 492-495 p

原稿種別: 資料／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/140/4/140_492/_article/-char/ja/