分光エリプソメータによるパラフィン薄膜の解析

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【C】電子・情報・システム部門

発行日: 2021/04/01

タイトル(英語): Analysis of Paraffin Thin Film by Spectroscopic Ellipsometer

著者名: 熊谷　寛（北里大学医療衛生学部臨床工学専攻），飯田　里帆（北里大学理学部化学科），小菅　智裕（北里大学医療衛生学部臨床工学専攻），佐藤　崇信（ジェー・エー・ウーラム・ジャパン（株）），鈴木　道夫（ジェー・エー・ウーラム・ジャパン（株）），石川　春樹（北里大学理学部化学科）

著者名(英語): Hiroshi Kumagai (School of Allied Health Sciences, Kitasato University), Riho Iida (School of Science, Kitasato University), Tomohiro Kosuge (School of Allied Health Sciences, Kitasato University), Takanobu Sato (J.A. Woollam Japan Corp.), Michio Suzuki (

キーワード: パラフィン，薄膜，分光エリプソメータ　　Paraffin，thin film，spectroscopic ellipsometer

要約(英語): Optical constants and thin film structures of paraffin thin films were analyzed by a spectroscopic ellipsometer. As a result, it was found that the film thickness and the structure changed depending on the film forming temperature. In this experiment, the film thickness was thicker at low temperature and thinner at higher temperature. It is considered that this is because the melting point of paraffin was about 65 degrees, and therefore, when the paraffin was applied to the substrate at a low temperature by the roller, there was a part that was not completely melted, and it was thought that the paraffin was deposited thickly.

本誌: 電気学会論文誌C（電子・情報・システム部門誌） Vol.141 No.4 （2021） 特集：量子・情報・エレクトロニクス医療インタフェース

本誌掲載ページ: 572-573 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/141/4/141_572/_article/-char/ja/