格子整合系基板へのβ相三酸化モリブデン薄膜の結晶成長とエレクトロクロミック特性
格子整合系基板へのβ相三酸化モリブデン薄膜の結晶成長とエレクトロクロミック特性
カテゴリ: 論文誌(論文単位)
グループ名: 【C】電子・情報・システム部門
発行日: 2024/11/01
タイトル(英語): Crystal Growth of a β-Phase Molybdenum Trioxide Thin Film on a Lattice-Matched Substrate and its Electrochromic Properties
著者名: 小池 一歩(大阪工業大学ナノ材料マイクロデバイス研究センター),仲井 啓悟(大阪工業大学ナノ材料マイクロデバイス研究センター),宮本 武(大阪工業大学ナノ材料マイクロデバイス研究センター),鶴山 大翔(大阪工業大学ナノ材料マイクロデバイス研究センター),廣芝 伸哉(大阪工業大学ナノ材料マイクロデバイス研究センター)
著者名(英語): Kazuto Koike (Nanomaterials Microdevices Research Center, Osaka Institute of Technology), Keigo Nakai (Nanomaterials Microdevices Research Center, Osaka Institute of Technology), Takeru Miyamoto (Nanomaterials Microdevices Research Center, Osaka Institute of Technology), Hiroto Turuyama (Nanomaterials Microdevices Research Center, Osaka Institute of Technology), Nobuya Hiroshiba (Nanomaterials Microdevices Research Center, Osaka Institute of Technology)
キーワード: 三酸化モリブデン,モノクリニック相,分子線エピタキシー,エレクトロクロミック,プロトネーション MoO3,monoclinic-phase,molecular beam epitaxy,electrochromic,proton injection
要約(英語): We have successfully grown monoclinic (β) phase single-crystalline molybdenum trioxide (MoO3) films on a lattice-matched (LaAlO3)0.3-(SrAl0.5Ta0.5O3)0.7 (LSAT) substrate with a 5-nm-thick WO3 buffer layer by molecular beam epitaxy (MBE). We investigated the structural changes and electrochromic properties of a 40-nm-thick β-MoO3 film prepared by proton injection for smart window applications. Proton injection into the film up to 12 mC/cm2 resulted in the formation of cubic H0.99MoO3 with an associated significant reduction in transmittance in the visible to near-infrared range. The coloration efficiencies at λ = 650 and 1000 nm are ~32 and ~65 cm2/C, respectively. Such high values are due to the unique properties of the high-quality β-phase MoO3 epitaxial thin films. X-ray photoelectron spectroscopy measurements showed that Mo5+ and Mo4+ related peaks appeared simultaneously owing to protonation, which may have introduced oxygen vacancies into the molybdenum bronze. Our results provide valuable information for the application of MoO3-based electrochromic devices.
本誌: 電気学会論文誌C(電子・情報・システム部門誌) Vol.144 No.11 (2024) 特集Ⅰ:電気関係学会関西連合大会 特集Ⅱ:電子材料関連技術の最近の進展
本誌掲載ページ: 1071-1077 p
原稿種別: 論文/日本語
電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejeiss/144/11/144_1071/_article/-char/ja/
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