オールドライプロセスによるMEMS薄膜ヒータの作製とガスセンサへの応用

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2011/07/01

タイトル(英語): Preparation of MEMS Thin Film Heater by All Dry Processes and Application to Gas Sensor

著者名: 山寺　秀哉（豊田中央研究所），杉本　憲昭（豊田中央研究所），景山　恭行（豊田中央研究所）

著者名(英語): Hideya Yamadera (Toyota Central R&D Labs., Inc.), Noriaki Sugimoto (Toyota Central R&D Labs., Inc.), Yasuyuki Kageyama (Toyota Central R&D Labs., Inc.)

キーワード: MEMS，薄膜，ヒータ，ガスセンサ，ボッシュプロセス，消費電力　　MEMS，thin film，heater，gas sensor，Bosch process，consumed power

要約(英語): The MEMS thin film heater was prepared by all dry processes and the heating properties of this heater were evaluated. The MEMS heaters were heated up to 400℃ at consumed power of a few ten mW. The consumed power for heating was dependent on the heater area and the membrane size. Furthermore, 40 ppm ethanol gas was detected in smaller size and at lower-power consumption by the MEMS gas sensor utilizing this MEMS heater than by the conventional bulk gas sensor.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.131 No.7 （2011）

本誌掲載ページ: 246-250 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/131/7/131_7_246/_article/-char/ja/