チップスケール原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止技術

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2011/07/01

タイトル(英語): Sacrificial Microchannel Sealing by Glass-Frit Reflow for Chip Scale Atomic Magnetometer

著者名: 辻本　和也（京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室），平井　義和（京都大学学際融合教育研究推進センター先端医工学研究ユニット），菅野　公二（京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室），土屋　智由（京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室），田畑　修（京都大学工学研究科マイクロエンジニアリング専攻ナノ・マイクロシステム工学研究室）

著者名(英語): Kazuya Tsujimoto (Nano/Micro System Engineering Lab, Department of Micro Engineering, Kyoto University), Yoshikazu Hirai (Advanced Biomedical Engineering Research Unit, Kyoto University), Koji Sugano (Nano/Micro System Engineering Lab, Department of Micro Engineering, Kyoto University), Toshiyuki Tsuchiya (Nano/Micro System Engineering Lab, Department of Micro Engineering, Kyoto University), Osamu Tabata (Nano/Micro System Engineering Lab, Department of Micro Engineering, Kyoto University)

キーワード: atomic MEMS，アルカリ金属蒸気セル，ガラスフリット，気密封止，ヘリウムリークテスト　　atomic MEMS，alkali metal vapor cell，glass frit，hermetic sealing，He leak test

要約(英語): A novel sealing technique using sacrificial microchannels was proposed for atmosphere control in a micromachined alkali gas-filled cell for a chip scale atomic magnetometer. The microchannels act as feedthrough connecting the cell to outside atmosphere during evacuation and gas-filling steps, and eventually they are sealed by glass-frit reflow. Si microchannel dedicated as a sacrificial microchannel was proposed and its feasibility was successfully demonstrated by experiments. The simulation results clarified the glass-frit reflow characteristics and its dependence on cross-sectional shape of the microchannel. Hermeticity of the proposed sealing technique of less than 10-12Pa・m3/s leak rate was verified by a high resolution helium leak test.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.131 No.7 （2011）

本誌掲載ページ: 251-257 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/131/7/131_7_251/_article/-char/ja/