流体MEMSキャパシタの高周波透過特性の時間変化

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2011/11/01

タイトル(英語): Drift of Electrical Characteristics over Time for Fluid MEMS Capacitors

著者名: 石田 勝通（立命館大学　理工学部／現在 パナソニックエレクトロニックデバイス（株）），古塚 岐（立命館大学　総合理工学研究機構），鈴木 健一郎（立命館大学　理工学部）

著者名(英語): Katsumichi Ishida (College of Science and Engineering, Ritsumeikan University/Panasonic Elctronic Devices Co.,Ltd), Takashi Furutsuka (Research Organization of Science and Engineering, Ritsumeikan University), Kenichiro Suzuki (College of Science and Engineering, Ritsumeikan University)

キーワード: RF-MEMS，可変キャパシタ，誘電体，等価回路モデル，散乱パラメータ　　RF-MEMS，Variable capacitor，Dielectric，Equivalent circuit model，Scattering parameters

要約(英語): A variable capacitor with high capacitance ratio (CR) is strongly expected as one of the key devices to realize controllable/ reconfigurable filters for multi-function, multi-band wireless systems. The authors have developed a fluid MEMS capacitor technology as one of the promising candidates for achieving high CR and have reported the excellent microwave performance. In order to verify such technology from a practical viewpoint, the change in the capacitor performance over time was studied, and found out the method to suppress the drift phenomenon.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.131 No.11 （2011）

本誌掲載ページ: 388-393 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/131/11/131_11_388/_article/-char/ja/