分岐型サスペンション構造への運動方程式等価回路モデルの応用

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2012/03/01

タイトル(英語): An Equivalent Circuit for Equation-of-Motion Solver Applied to Branched Suspension Structures

著者名: 三田 信（宇宙航空研究開発機構　宇宙科学研究所），丸山 智史（東京大学　生産技術研究所），藤田 博之（東京大学　生産技術研究所），年吉 洋（東京大学　生産技術研究所）

著者名(英語): Makoto Mita (Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency), Satoshi Maruyama (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo), Hiroyuki Fujita (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo), Hiroshi Toshiyoshi (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo)

キーワード: 静電駆動，等価回路モデル，マイクロアクチュエータ　　electrostatic drive，equivalent circuit model，micro actuator

要約(英語): A newly developed multi-physics simulation tool for MEMS (microelectromechanical systems) has been applied to a branched suspension structure to study the versatility of analysis. More than two suspension modules or actuator modules can be connected to a mass module that solves the equation of motion without modifying the internal equivalent circuit module, thanks to the carefully designed signal handling method, where displacement and velocity are interpreted as voltage while mechanical force as electrical current. A 4-bit microelectromechanical digital-to-analog converter of displacement has been modeled as a verification to reproduce the micromechanical behavior.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.132 No.3 （2012）

本誌掲載ページ: 64-65 p

原稿種別: 研究開発レター／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/132/3/132_3_64/_article/-char/ja/