準平行平板型静電トーションミラーの等価回路モデル

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2012/04/01

タイトル(英語): An Equivalent Circuit Model for Semi-parallel Plate Electrostatic Torsion Mirror

著者名: 丸山 智史（東京大学 先端科学技術研究センター），三田 信（宇宙航空研究開発機構 宇宙科学研究所），諫本 圭史（サンテック（株）），鄭 昌鎬（サンテック（株）），藤田 博之（東京大学 生産技術研究所），年吉 洋（東京大学 先端科学技術研究センター）

著者名(英語): Satoshi Maruyama (Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo), Makoto Mita (Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency), Keiji Isamoto (Santec Corporation), Changho Chong (Santec Corporation), Hiroyuki Fujita (Institute of Industrial Science, The University of Tokyo), and Hiroshi Toshiyoshi (Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo)

キーワード: 静電駆動，トーションミラー，準平行平板，等価回路，可変減衰器　　electrostatic actuation，torsion mirror，semi-parallel plates，equivalent circuit，variable optical attenuator

要約(英語): An equivalent circuit model for the semi-parallel plate electrostatic torsion mirror has been developed based on the electrical circuit simulator. An analytical model for the electrostatic torque has been translated into a nonlinear dependent current source as a function of input voltages that interpret the drive voltages and the mirror angle. A use of the suspension width as a fitting parameter explained well the experimental results of frequency response and the mirror's static deflection.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.132 No.4 （2012）

本誌掲載ページ: 77-85 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/132/4/132_4_77/_article/-char/ja/