U字形及びI字形のSOI-MUMPsによる片持ち梁構成の熱式マイクロアクチュエータ

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2012/05/01

タイトル(英語): Cantilever-type Thermal Microactuators Fabricated by SOI-MUMPs with U-type and I-type Configurations

著者名: 長田　貴裕（千葉工業大学），落合　邦行（千葉工業大学），長田　和樹（ニッコーテクノ（株）），室　英夫（千葉工業大学）

著者名(英語): Takahiro Osada (Chiba Institute of Technology), Kuniyuki Ochiai (Chiba Institute of Technology), Kazuki Osada (NIKKO THECNO, LTD.), Hideo Muro (Chiba Institute of Technology)

キーワード: マイクロアクチュエータ，片持ち梁，熱式，SOI (Silicon on Insulator)　　Microactuators，Cantilever，Thermal，SOI

要約(英語): Recently, the micro fluid systems have been extensively studied, where microactuators such as micro valves fabricated by MEMS technology are essential for realizing these systems. In this paper thermal microactuators with U-type and I-type shapes fabricated by SOI-MUMPs technology have been investigated for optimizing their configurations.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.132 No.5 （2012）

本誌掲載ページ: 103-107 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/132/5/132_5_103/_article/-char/ja/