分割型補助電極を有するSi共振子の静電チューニング用テスト素子

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2012/05/01

タイトル(英語): Test Devices for Electrostatic Tuning of Silicon Resonators with Split Auxiliary Electrodes

著者名: 飯高　俊哉（千葉工業大学），水口　和彦（エドワーズ（株）），室　英夫（千葉工業大学）

著者名(英語): Shunya Iitaka (Chiba Institute of Technology), Kazuhiko Mizuguchi (Edwars Japan Limited.), Hideo Muro (Chiba Institute of Technology)

キーワード: 共振型センサ，静電チューニング，SOI，MEMS　　Resonant Sensor，Electrostatic Tuning，SOI，MEMS

要約(英語): Recently resonant sensors have been extensively studied to obtain high resolution. The resonant frequencies might deviate from the designed value due to manufacturing error or packaging stress, which requires the tuning technologies. This paper describes design and evaluation results of test devices for the electrostatic tuning of the silicon micro-resonators fabricated by a simple SOI-MEMS process.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.132 No.5 （2012）

本誌掲載ページ: 127-132 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/132/5/132_5_127/_article/-char/ja/