凹面基板上の三次元マイクロパターニングおよび，円柱形ポリマースタンプ製作への応用

カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2012/09/01

タイトル(英語): Fabrication of 3D Micro Patterns on Concave Substrate and Its Application for the Fabrication of Cylindrical Polymer Stamps

著者名: 朴　鍾淏（東京大学 生産技術研究所　マイクロナノメカトロニクス国際研究センター），高間　信行（東京大学 生産技術研究所　マイクロナノメカトロニクス国際研究センター），藤田　博之（東京大学 生産技術研究所　マイクロナノメカトロニクス国際研究センター），金　範埈（東京大学 生産技術研究所　マイクロナノメカトロニクス国際研究センター）

著者名(英語): Jongho Park (CIRMM, IIS, The University of Tokyo), Nobuyuki Takama (CIRMM, IIS, The University of Tokyo), Hiroyuki Fujita (CIRMM, IIS, The University of Tokyo), Beomjoon Kim (CIRMM, IIS, The University of Tokyo)

キーワード: マイクロパターニング，曲面，凹面，SU-8，ポリマースタンプ　　Micro patterning，Curved substrate，Concave substrate，SU-8，Polymer stamp

要約(英語): In this work, we have developed an alternative and improved "optical softlithographic" microfabrication method for patterning on a concave substrate as well as the fabrication of micro patterned PDMS cylindrical stamps for the potential application to nano imprinting. Firstly, we fabricated SU-8 micro patterns with high aspect ratio (over 4) on a concave glass substrate using optical softlithography, where UV light was exposed through a very flexible mask attached on the concave surface. We investigated the optimal experimental conditions depending on shapes and scales, and examined the resolutions of patterns. Next, we replicated a PDMS cylindrical stamp using SU-8 micro patterns as a mold. Intermediate female molds were made from the original cylindrical mold. Then, the stamp was made by filling the intermediate mold with PDMS monomer and solidifying it. Thus, this technique provides us with novel fabrication technique of 3D micro patterns on curved substrate as well as a cylindrical polymer stamp for roll micro contact printing.

本誌: 電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.132 No.9 （2012）

本誌掲載ページ: 303-308 p

原稿種別: 論文／日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/132/9/132_303/_article/-char/ja/