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無機エレクトレットを用いた電荷蓄積型シリコンマイクロホン

無機エレクトレットを用いた電荷蓄積型シリコンマイクロホン

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カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2012/09/01

タイトル(英語): Silicon Electret Condenser Microphone with Inorganic Electret

著者名: 後藤 正英(NHK放送技術研究所),萩原 啓(NHK放送技術研究所),田島 利文((財)NHKエンジニアリングサービス),安野 功修((財)小林理学研究所),児玉 秀和((財)小林理学研究所),樹所 賢一(リオン(株)),井口 義則(NHK放送技術研究所)

著者名(英語): Masahide Goto (NHK Science & Technology Research Laboratories), Kei Hagiwara (NHK Science & Technology Research Laboratories), Toshifumi Tajima (NHK Engineering Services, Inc.), Yoshinobu Yasuno (Kobayasi Institute of Physical Research), Hidekazu Kodama (Kobayasi Institute of Physical Research), Kenichi Kidokoro (RION Co., Ltd.), Yoshinori Iguchi (NHK Science & Technology Research Laboratories)

キーワード: マイクロホン,エレクトレット,シリコン,誘電体,micro-electro-mechanical systems (MEMS)  microphone,electret,silicon,dielectric,micro-electro-mechanical systems (MEMS)

要約(英語): We developed a silicon electret condenser microphone (ECM) fabricated with the micro-electro-mechanical systems (MEMS) process using single-crystalline silicon. A silicon ECM has a SiO2/Si3N4 inorganic electret film (permanently charged dielectric) within microphone element, and it can remove 48-V bias voltage. We confirmed that a prototype microphone operated with 3-V or 1.5-V power supply had excellent acoustic characteristics. Experimental results also show that developed silicon-based electret had high heat and humidity resistance. We conclude that it is feasible to use such low-voltage high-performance MEMS microphones for a wide range of applications such as broadcasting, hearing-aids, and mobile communications.

本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.132 No.9 (2012)

本誌掲載ページ: 309-315 p

原稿種別: 論文/日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/132/9/132_309/_article/-char/ja/

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