電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） Vol.133 No.2 （2013）

カテゴリ: 論文誌(号単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2013/02/01

タイトル(英語): IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines Vol.133 No.2 (2013)

著者リスト: ・Nanoporous Gold for MEMS Packing Applications：Yu-Ching Lin，Wei-Shan Wang，Lu Yang Chen，Ming Wei Chen，Thomas Gessner，Masayoshi Esashi ・Damping Characteristics of Quartz Tilt Sensor with Nonparallel Comb Electrode：Fusao Kohsaka，Jinxing Liang，Toshitsugu Ueda ・Interferometric Fiber-Optic Electric Current Sensor for Railway Power Systems：Tatsuya Kumagai，Wataru Ohnuki，Hitoshi Hayashiya，Kouji Nishida ・片持ち梁式ヒータと熱結合した温度センサからなる熱式MEMS真空センサの検討：中塚　征，室　英夫 ・パルス電圧励磁による非接触型シート抵抗測定器の開発：早乙女　英夫，大井　翔太，金子　弘明 ・2電極静電アクチュエータを用いた高駆動分解能MEMSファブリ・ペローチューナブルフィルタ：廣久保　望，小松　洋，橋元　伸晃，曽根原　誠，佐藤　敏郎

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/browse/ieejsmas/133/2/_contents/-char/ja/