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片持ち梁式ヒータと熱結合した温度センサからなる熱式MEMS真空センサの検討

片持ち梁式ヒータと熱結合した温度センサからなる熱式MEMS真空センサの検討

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カテゴリ: 論文誌(論文単位)

グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門

発行日: 2013/02/01

タイトル(英語): Study on Thermal MEMS Vacuum Sensors Consisting of a Cantilever-Type Heater and Thermally Coupled Temperature Detectors

著者名: 中塚 征(千葉工業大学),室 英夫(千葉工業大学)

著者名(英語): Yuku Nakatsuka (Chiba Institute of Technology), Hideo Muro (Chiba Institute of Technology)

キーワード: 真空センサ,SOI,MEMS,片持ち梁,熱伝導式,温度センサ  Vacuum sensor,SOI,MEMS,Cantilever,Thermally conductive,Temperature sensor

要約(英語): In order to develop compact, low-cost vacuum sensors, a thermally-conductive type MEMS sensor fabricated using a simple SOI-MEMS technology was studied. The sensor consists of cantilever-type heater and two temperature detectors which are faced to the tip of the heater. The prototype was fabricated and evaluated, resulting in a wide measurement range.

本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.133 No.2 (2013)

本誌掲載ページ: 48-51 p

原稿種別: 論文/日本語

電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/133/2/133_48/_article/-char/ja/

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