片持ち梁式ヒータと熱結合した温度センサからなる熱式MEMS真空センサの検討
片持ち梁式ヒータと熱結合した温度センサからなる熱式MEMS真空センサの検討
カテゴリ: 論文誌(論文単位)
グループ名: 【E】センサ・マイクロマシン部門
発行日: 2013/02/01
タイトル(英語): Study on Thermal MEMS Vacuum Sensors Consisting of a Cantilever-Type Heater and Thermally Coupled Temperature Detectors
著者名: 中塚 征(千葉工業大学),室 英夫(千葉工業大学)
著者名(英語): Yuku Nakatsuka (Chiba Institute of Technology), Hideo Muro (Chiba Institute of Technology)
キーワード: 真空センサ,SOI,MEMS,片持ち梁,熱伝導式,温度センサ Vacuum sensor,SOI,MEMS,Cantilever,Thermally conductive,Temperature sensor
要約(英語): In order to develop compact, low-cost vacuum sensors, a thermally-conductive type MEMS sensor fabricated using a simple SOI-MEMS technology was studied. The sensor consists of cantilever-type heater and two temperature detectors which are faced to the tip of the heater. The prototype was fabricated and evaluated, resulting in a wide measurement range.
本誌: 電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌) Vol.133 No.2 (2013)
本誌掲載ページ: 48-51 p
原稿種別: 論文/日本語
電子版へのリンク: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejsmas/133/2/133_48/_article/-char/ja/
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